MICRO/NANO FABRICATION
RIE/PECVD »ç¿ë¾È³»
2006-12-11
5,569
RIE/PECVD Àåºñ°¡ Á¤»óÀûÀ¸·Î °¡µ¿µÇ´Ï ¸¹Àº ÀÌ¿ë
¹Ù¶ø´Ï´Ù.
(Generator ±³Ã¼ ÇÔ)
Furnace »ç¿ë ºÒ´É
(Çʵ¶) °øÁö»çÇ×