MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    RIE/PECVD »ç¿ë¾È³»
    2006-12-11   5,564
   
 
  RIE/PECVD Àåºñ°¡ Á¤»óÀûÀ¸·Î °¡µ¿µÇ´Ï ¸¹Àº ÀÌ¿ë
¹Ù¶ø´Ï´Ù.
(Generator ±³Ã¼ ÇÔ)
 
 
  Furnace »ç¿ë ºÒ´É
  (Çʵ¶) °øÁö»çÇ×