MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    Furnace »ç¿ë ºÒ´É
    2007-01-17   4,648
   
 
  Inner Tube BrokenÀ¸·Î ´çºÐ°£ »ç¿ëÇÒ¼ö°¡ ¾ø½À´Ï´Ù,
3¿ù Áß¿¡ ¼ö¸®°¡ ¿Ï·áµÉ ¿¹Á¤ÀÔ´Ï´Ù,
 
 
  LPCVD(Low Stress Nitride) Àåºñ »ç¿ë °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù,
  RIE/PECVD »ç¿ë¾È³»