MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    °øÁö»çÇ×(Çʵ¶)
    2007-04-24   4,159
   
 
  Micro-Nano Fab.¼¾Å͸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¸ðµç ºÐµé²²
¾Ë·Áµå¸³´Ï´Ù,

2007³â 4¿ù 27ÀÏ(±Ý)¿¡´Â Fab ÀåºñµéÀ» Á¡°ËÇϱâ À§ÇØ
Fab »ç¿ëÀ» ÁßÁöÇÕ´Ï´Ù,

´Ü, ¹Ýµå½Ã ±×³¯ Aligner(MA6) ¸¦ »ç¿ëÇÏ°í ½ÍÀ¸½ÅºÐÀº »çÀü¿¡ °ü¸®½Ç·Î ¿¬¶ôÀ» ÁÖ½Ã¸é »ç¿ëÇÒ¼ö ÀÖµµ·Ï
ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù,
 
 
  Furnace 6 ÀÎÄ¡ °øÁ¤ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù,
  4¿ù 3ÀÏ ¿ÀÀü 9½Ã~12½Ã±îÁö Fab¼¾ÅÍ ´©Àü ÃøÁ¤À¸·Î ÃâÀÔ±ÝÁö