MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    Furnace 6 ÀÎÄ¡ °øÁ¤ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù,
    2007-05-02   4,356
   
 
  6ÀÎÄ¡ Wafer¿¡ Thermal OxidationÀ» ¿øÇÏ´Â ÀÌ¿ëÀڵ鿡°Ô ¾Ë·Áµå¸³´Ï´Ù,

±Ý¹ø ÀúÈñ fab¿¡¼­´Â 6ÀÎÄ¡ SiO2 ¼ºÀåÀ» À§ÇØ Àåºñ¸¦ ±¸ÃàÇÏ¿´½À´Ï´Ù, ¸¹Àº ÀÌ¿ë¹Ù¶ø´Ï´Ù,
 
 
  LPCVD(Nitride) ¼ö¸® ÁßÀÔ´Ï´Ù,
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