MICRO/NANO FABRICATION
AOE Etcher ¼ö¸®¿Ï·áµÇ¾ú½À´Ï´Ù,
2007-10-09
4,331
Pt/PZT Àü¿ë Etching ÀåºñÀÎ AOE Etcher°¡ ¼ö¸®µÇ¾î
´Ù½Ã ¼ºñ½º¸¦ ½Ç½ÃÇÕ´Ï´Ù,
Oxford ICP ¼ö¸®ÁßÀÔ´Ï´Ù.
°øÁ¶±â Á¡°ËÀ¸·Î 9¿ù 1ÀÏ(Åä)Àº Fab ÃâÀÔÀ» Àü¸é ÅëÁ¦ÇÕ´Ï´Ù,