[필독]KIST 코로나 대응 외부인원 출입안내 fab 20-03-17 2152 [공정 상담 및 이용에 대한 안내] fab 17-09-27 6097 100 AOE Etcher 수리 중입니다. fab 09-12-23 4103 99 Oxford ICP 수리 완료 fab 09-12-16 4093 98 Oxford ICP 장비 점검 중입니다. fab 09-12-02 4594 97 RIEⅡ 장비 Gate Valve 수리 중입니다. fab 09-10-09 3998 96 E-Beam lithography 공정서비스 시작 fab 09-08-25 5300 95 Oxford ICP 수리 완료되었습니다. fab 09-08-11 3978 94 Oxford ICP 장비 수리중입니다. fab 09-07-31 3916 93 E-Beam Evaporator 수리 완료 fab 09-06-25 4233 92 E-Beam Evaporator 점검중 fab 09-06-25 3964 91 공조기 점검완료 fab 09-06-09 4303 90 공조기 점검 fab 09-06-08 4550 89 4월 11일(토) Fab 출입금지 fab 09-04-07 4186 88 고진공 Multi Sputter 설치 완료 fab 09-03-13 4834 87 (필독) 절연측정으로 Fab 사용 일시 중단 fab 09-03-13 3928 86 2월 13일(금) 휴무안내 fab 09-02-11 3895      1  2  3  4  5  6  7  8  9  10       제목 내용 제목+내용   and or