MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
[필독]KIST 코로나 대응 외부인원 출입안내 fab 20-03-17 2152
[공정 상담 및 이용에 대한 안내] fab 17-09-27 6097
100 AOE Etcher 수리 중입니다. fab 09-12-23 4103
99 Oxford ICP 수리 완료 fab 09-12-16 4093
98 Oxford ICP 장비 점검 중입니다. fab 09-12-02 4594
97 RIEⅡ 장비 Gate Valve 수리 중입니다. fab 09-10-09 3998
96 E-Beam lithography 공정서비스 시작 fab 09-08-25 5300
95 Oxford ICP 수리 완료되었습니다. fab 09-08-11 3978
94 Oxford ICP 장비 수리중입니다. fab 09-07-31 3916
93 E-Beam Evaporator 수리 완료 fab 09-06-25 4233
92 E-Beam Evaporator 점검중 fab 09-06-25 3964
91 공조기 점검완료 fab 09-06-09 4303
90 공조기 점검 fab 09-06-08 4550
89 4월 11일(토) Fab 출입금지 fab 09-04-07 4186
88 고진공 Multi Sputter 설치 완료 fab 09-03-13 4834
87 (필독) 절연측정으로 Fab 사용 일시 중단 fab 09-03-13 3928
86 2월 13일(금) 휴무안내 fab 09-02-11 3895
 
 
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