MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
Explorer ȣȯ¼º ¹®Á¦ ÇØ°á ¾È³» fab 22-05-25 1499
[°øÁ¤ »ó´ã ¹× À̿뿡 ´ëÇÑ ¾È³»] fab 17-09-27 9809
109 (Çʵ¶) 7¿ù 7ÀÏ ¿ÀÀü 9½ÃºÎÅÍ 11½Ã±îÁö °øÁ¶±â ¡¦ fab 10-07-05 4238
108 Oxford ICP ¼ö¸® ÁßÀÔ´Ï´Ù. fab 10-07-01 4197
107 (Çʵ¶) 6¿ù 2ÀÏÀº Áö¹æ ¼±°Å³ª ÀÖ´Â ³¯·Î Fab¡¦ fab 10-05-31 4224
106 (Çʵ¶) 5¿ù28ÀÏ Ã¼À°Çà»ç(KIST)·Î Fab¼¾ÅÍ ¾÷¹«¡¦ fab 10-05-24 4892
105 4¿ù 10ÀÏ Fab ÃâÀÔ±ÝÁö ¾È³» fab 10-04-06 4779
104 Fab ´©ÀüÃøÁ¤ ¾È³» fab 10-03-16 4824
103 ÈÞ¹«¾È³» fab 10-02-01 6002
102 AOE Etcher ¼ö¸® ¿Ï·áµÇ¾ú½À´Ï´Ù. fab 10-01-05 4915
101 (Çʵ¶) ½ÅÁ¤¿¬ÈÞ ±â°£ ÈÞ¹«°ü·Ã °øÁö»çÇ×ÀÔ´Ï´Ù¡¦ fab 09-12-29 4767
100 AOE Etcher ¼ö¸® ÁßÀÔ´Ï´Ù. fab 09-12-23 4577
99 Oxford ICP ¼ö¸® ¿Ï·á fab 09-12-16 4562
98 Oxford ICP Àåºñ Á¡°Ë ÁßÀÔ´Ï´Ù. fab 09-12-02 5128
97 RIE¥± Àåºñ Gate Valve ¼ö¸® ÁßÀÔ´Ï´Ù. fab 09-10-09 4528
96 E-Beam lithography °øÁ¤¼­ºñ½º ½ÃÀÛ fab 09-08-25 5839
95 Oxford ICP ¼ö¸® ¿Ï·áµÇ¾ú½À´Ï´Ù. fab 09-08-11 4464
 
 
 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10    
 
  and or