MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
[»ó´ã ¹®ÀÇ] fab 17-09-27 2820
109 (Çʵ¶) 7¿ù 7ÀÏ ¿ÀÀü 9½ÃºÎÅÍ 11½Ã±îÁö °øÁ¶±â ¡¦ fab 10-07-05 3298
108 Oxford ICP ¼ö¸® ÁßÀÔ´Ï´Ù. fab 10-07-01 3230
107 (Çʵ¶) 6¿ù 2ÀÏÀº Áö¹æ ¼±°Å³ª ÀÖ´Â ³¯·Î Fab¡¦ fab 10-05-31 3312
106 (Çʵ¶) 5¿ù28ÀÏ Ã¼À°Çà»ç(KIST)·Î Fab¼¾ÅÍ ¾÷¹«¡¦ fab 10-05-24 3871
105 4¿ù 10ÀÏ Fab ÃâÀÔ±ÝÁö ¾È³» fab 10-04-06 3710
104 Fab ´©ÀüÃøÁ¤ ¾È³» fab 10-03-16 3837
103 ÈÞ¹«¾È³» fab 10-02-01 5025
102 AOE Etcher ¼ö¸® ¿Ï·áµÇ¾ú½À´Ï´Ù. fab 10-01-05 3814
101 (Çʵ¶) ½ÅÁ¤¿¬ÈÞ ±â°£ ÈÞ¹«°ü·Ã °øÁö»çÇ×ÀÔ´Ï´Ù¡¦ fab 09-12-29 3779
100 AOE Etcher ¼ö¸® ÁßÀÔ´Ï´Ù. fab 09-12-23 3542
99 Oxford ICP ¼ö¸® ¿Ï·á fab 09-12-16 3554
98 Oxford ICP Àåºñ Á¡°Ë ÁßÀÔ´Ï´Ù. fab 09-12-02 4061
97 RIE¥± Àåºñ Gate Valve ¼ö¸® ÁßÀÔ´Ï´Ù. fab 09-10-09 3429
96 E-Beam lithography °øÁ¤¼­ºñ½º ½ÃÀÛ fab 09-08-25 4735
95 Oxford ICP ¼ö¸® ¿Ï·áµÇ¾ú½À´Ï´Ù. fab 09-08-11 3392
 
 
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