MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
[필독]KIST 코로나 대응 외부인원 출입안내 fab 20-03-17 153
[공정 상담 및 이용에 대한 안내] fab 17-09-27 4889
99 Oxford ICP 수리 완료 fab 09-12-16 3918
98 Oxford ICP 장비 점검 중입니다. fab 09-12-02 4407
97 RIEⅡ 장비 Gate Valve 수리 중입니다. fab 09-10-09 3807
96 E-Beam lithography 공정서비스 시작 fab 09-08-25 5109
95 Oxford ICP 수리 완료되었습니다. fab 09-08-11 3790
94 Oxford ICP 장비 수리중입니다. fab 09-07-31 3728
93 E-Beam Evaporator 수리 완료 fab 09-06-25 4044
92 E-Beam Evaporator 점검중 fab 09-06-25 3798
91 공조기 점검완료 fab 09-06-09 4122
90 공조기 점검 fab 09-06-08 4352
89 4월 11일(토) Fab 출입금지 fab 09-04-07 4018
88 고진공 Multi Sputter 설치 완료 fab 09-03-13 4656
87 (필독) 절연측정으로 Fab 사용 일시 중단 fab 09-03-13 3752
86 2월 13일(금) 휴무안내 fab 09-02-11 3703
85 (필독: 긴급) M-2000 Laser 장비 사용 가능합니… fab 09-01-23 3752
 
 
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