MICRO/NANO FABRICATION
RIE I Àåºñ Á¤»ó ¾È³»
2017-08-23
6,423
RIE I Àåºñ´Â Á¡°Ë ¿Ï·áµÇ¾î °øÁ¤¼ºñ½º¸¦ ÁøÇàÇÏ¿À´Ï
Àåºñ ¿¹¾à ºÎʵ右´Ï´Ù.
RIE II Àåºñ´Â Á¡°Ë, ¼ö¸® ÁøÇàÇϰí ÀÖÀ¸¸ç
Àåºñ Á¤»óÈ ÈÄ Àç°øÁö ÇϰڽÀ´Ï´Ù.
PECVD II Àåºñ Á¡°Ë
ÆÕ¼¾ÅÍ ÃâÀÔ Á¦ÇÑ ¾È³»