3월27일(월요일) 절연 측정으로 인해 팹 사용금지     2006-03-22   5,080     전원을 차단하기 때문에 팹 사용을 할 수 없습니다. 문의) 기계실:6316       Metal Dry Etching 가능 (Pt,Au,Cr, Al) PZT Etching도 가능   LPCVD (Low Stress Nitride) 수리 완료