Metal Dry Etching 가능 (Pt,Au,Cr, Al) PZT Etching도 가능     2006-03-24   6,944     2006년 4월 3일 부터 Metal Dry Etching 및 PZT Etching이 가능합니다. (Pt,Au,Cr, Al) PZT Etching도 가능       3월27일(월요일)12시부터 크린룸 사용이 가능합니다.   3월27일(월요일) 절연 측정으로 인해 팹 사용금지