3월27일(월요일)12시부터 크린룸 사용이 가능합니다.     2006-03-27   5,214     절연측정 및 공조기점검이 완료되어서 12시부터 사용이 가능합니다.       SEM세미나가 5월17일 수요일 2시에 있습니다.   Metal Dry Etching 가능 (Pt,Au,Cr, Al) PZT Etching도 가능