E-SEM 장비가 Set-up 되었습니다,     2006-05-25   6,311     2006년 6월 1일부터 E-SEM 의뢰를 받습니다, Resolution : 3.5nm Vega SEM       LPCVD (Nitride) 장비 관련 공지   Silicon Deep Etching (ICP) 6인치 가능