Furnace 사용 불능     2007-01-17   5,508     Inner Tube Broken으로 당분간 사용할수가 없습니다, 3월 중에 수리가 완료될 예정입니다,       LPCVD(Low Stress Nitride) 장비 사용 가능합니다,   RIE/PECVD 사용안내