LPCVD(Low Stress Nitride) 장비 사용 가능합니다,     2007-01-22   5,781     Low Stress Nitride 박막을 원하는 이용자들께서는 장비를 예약하고 사용하시면 됩니다, 그동안 장비 고장으로 인해 많이 기다리셨습니다, 박막에 대한 uniformity 및 막질 특성이 양호하여 다시 서비스를 실시하게 되었습니다.       Furnace사용가능 (수리완료)   Furnace 사용 불능