MICRO/NANO FABRICATION
LPCVD(Nitride) 수리 중입니다,
2007-05-02
5,667
LPCVD 장비의 DRT PUMP OVERHAUL 로 약 2주간 장비를 사용할수 없게되었습니다,
LPCVD(NITRIDE) 장비 사용 가능
Furnace 6 인치 공정 가능합니다,