LPCVD(NITRIDE) 장비 사용 가능     2007-05-14   5,407     LPCVD (Nitride) 장비의 DRY PUMP Overhaul이 완료되어 장비 사용이 가능합니다,       E-SEM 장비고장으로 인해 사용불가   LPCVD(Nitride) 수리 중입니다,