MICRO/NANO FABRICATION
Oxford ICP 수리중입니다.
2007-08-16
5,212
Fab센터 운영팀장입니다,
저희가 보유중인 Oxford ICP의 Control PC가 Down되어 수리 중입니다,
공조기 점검으로 9월 1일(토)은 Fab 출입을 전면 통제합니다,
LOT (Low Temp Oxide : SiO2) 장비를 서비스 합니다.